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半导体行业有机废气处理方案

近年来,人们半导体工业的环境问题深受关注,半导体制作的原料和溶剂大约有几百种,其中大部分的物质是有毒性和危险性的,那么什么是半导体了,它到底是做什么用的?半导体通常是引导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,在通信系统、光伏发电、照明应用等领域都会应用得到,给人们生活带来便利的,但是在生产制造过程中会产生废气,这些废气对人体健康危害性大,同时也对生态环境造成了很大的影响力。
半导体制造工艺产生的有机废气,主要来源于显影、刻蚀、光刻及扩散等工序,对于该行业有机废气和毒性气体的治理,一般会采用生物氧化法、直接焚烧法、活性炭吸附法等方法进行处理。但用这几种废气处理方法会存在几个问题:①半导体产生的废气大多数是浓度低,风量大,所以直接燃烧有可能造成部分有机废气产生二次污染或燃料消耗过高;②生物氧化技术对于处理大风量的废气处理效率不高;③活性碳吸附法有可能因材质的原因存在易燃烧等现象。
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针对半导体行业产生的废气一般会使用低温等离子技术,在使用该处理技术要注意等离子设备要安装在风机前面,等离子前面设立水喷淋设备将降解气体中的颗粒粉尘,以保证净化器内部洁净度和使用年限和延长维护时间。设备在通电的情况下,禁止打开设备的箱门,设备中过滤板要定期进行检查,如有损坏堵塞要及时更换和清洁。低温等离子设备处理效果好,操作简单,运行稳定。
低温等离子废气处理设备工作原理:
高能电子破坏有机废气中的气体分子之间的化学键,断开这些化学键从而产生了各种混合体,等离子体中的氧原子和碳原子结合形成二氧化碳,氧原子和氢原子结合形成水分子,然后排放的气体被转化成了无污染的二氧化碳和水。

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